*** PE-CVD结构特点介绍:
1、PECVD系列真空管式高温烧结炉如图所示,集控制系统与炉膛为一体;
2、炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料,采用进口高温合金电阻丝为加热元件;
3、高纯石英管横穿于炉体中间作为的炉膛,炉管两端用不锈钢法兰密封,工件式样在管中加热,加热元件
与炉管平行,均匀地分布在炉管外,有效的保证了温场的均匀性;
4、测温采用性能稳定,长寿命的“K”型热电偶,以提高控温的精准性;
5、它是专为高等院校﹑科研院所及工矿企业对金属,非金属及其它化和物材料在气氛或真空状态下进行烧
结﹑融化﹑分析而研制的专用设备;
6、MPECVD系列真空管式炉能够快速开启,快速升降温,方便客户对特殊材料的装载,烧制和观察;
7、炉体的控制面板配有触摸屏,控制电源开关,配有电源和保险指示灯,以便随时观察本系统的工作状态。
*** 主要特点:
? 清洗镀膜一气呵成,杜绝二次污染;
? 上开启结构,式样观察方便;
? 触屏人机对话整体性操作,安全可靠;;
? 产品采用全自动控制方式,触摸屏,数字化显示。
? 真空系统、工作压强、电源系统及自动匹配、工艺气体流量、加热系统、运动系统、工艺过程、系统监控及数据采集等
北京大兴区旧桥路25号院3-1203
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