北京维意真空技术应用有限责任公司

　　本系统是一款温度范围-180~550℃的温控冷热台，搭配其他测试仪表（如LCR、阻抗分析仪等）进行变温测试。

　　主要参数：

　　温度范围：-180~550℃

　　变温速度：0~10℃/min，升降温线性可控

　　温度分辨率及稳定性：± 0.1℃

　　控温方式：PID

　　温度传感器：PT100

　　温度传感器数量：2

　　致冷方式：液氮（泵控制）

　　探针数量：4（可增加）

　　探针材质：紫铜镀金

　　测试通道：4

　　载样台材质及尺寸：银质，35*35mm（以实际尺寸为准）

　　冷热台尺寸：160*150*29mm（以实际尺寸为准）

　　可抽真空，可充入保护气氛（氮气），配水冷接口

　　高低温工作台

　　■ 高低温工作台以液氮为制冷媒介，工作温度可实现-160℃（改用液氦为制冷媒介温度可以更低）-400℃（可以更高）的连 续可调、可控，控温精度可达到±0.3℃，温度均匀性可达到±0.5℃；

　　■ 广泛的应用于真空探针台、原子层沉积等设备；

　　■ 我公司提供的高低温工作台采用无氧铜整料，一面用加工中心铣出特殊设计的液氮槽纹路，再采用钎焊炉与焊接有VCR接 头的不锈钢盖板焊接；另 一面用加工中心铣出特殊设计的纹路，保证每根铠装电阻丝的间距只有1mm，基本等同于一块整 体的加热器，在盖板之间加装50层0.02mm厚的石墨膜，其横向到热特性保证了工作台工作区域的温度均衡性；

　　■ 测温点两个：一个与铠装电阻丝组合在一起，可以跟好的反应出加热器的温度状态；另一个测量点在工作台面底部，需要 外接热电偶，可以更好地反应出样品区域的温度。但两个测量点的测量值会随着时间的增长而变得近乎一样